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制造半導(dǎo)體工業(yè)純化水設(shè)備(圖文)

發(fā)布時(shí)間: 2022-08-17 14:49:52 來(lái)源: 江蘇浦膜 瀏覽量:

  半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純?cè)O(shè)備概述:
  半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純水對(duì)TOC、DO、SIO2、Particulate的控制嚴(yán)格,達(dá)到PPb級(jí),生產(chǎn)水質(zhì)在18.2m * CM(25)以上。
  超純?cè)O(shè)備用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn):
  半導(dǎo)體芯片上的水主要在前端晶體硅片冷卻劑上,在基板晶片感應(yīng)清洗水、中間晶片飛濺電鍍、曝光、電鍍、光刻、腐蝕等工藝清洗、后端感應(yīng)封裝清洗上。LED芯片主要在前一段是MOCVD外延片生長(zhǎng)用水,中間部分主要檢測(cè)暴露、現(xiàn)象、光阻清潔用水,后面部分檢測(cè)包裝用水。另一方面,半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)TOC的要求很高。
  超純?cè)O(shè)備的工藝是根據(jù)不同的進(jìn)水水質(zhì)和出水要求設(shè)計(jì)的,因此,根據(jù)不同的原水質(zhì)量特性設(shè)計(jì)超純?cè)O(shè)備方案是經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的,同時(shí)也是水質(zhì)長(zhǎng)期穩(wěn)定滿足要求的保證。超純?cè)O(shè)備的用途不同,可能有不同的制造過(guò)程,或者結(jié)合幾種工藝,水質(zhì)達(dá)到預(yù)期的效果,也可以按類別大致劃分,分為比較常用的預(yù)處理系統(tǒng)、反滲透系統(tǒng)、EDI電脫鹽超純系統(tǒng)、精密處理系統(tǒng)等。
  半導(dǎo)體生產(chǎn)用超純?cè)O(shè)備工藝:
  反滲透純?cè)O(shè)備
  RO反滲透膜的工作原理是對(duì)水施加一定的壓力,使水分子和離子狀態(tài)的礦物元素通過(guò)一層半透膜,溶于水的大部分無(wú)機(jī)鹽(包括重金屬)、有機(jī)物、細(xì)菌、病毒等不能通過(guò)反滲透膜而通過(guò)的純凈水和不能通過(guò)的濃縮水嚴(yán)格分離。
  半透膜的孔徑僅為0.0001um,但病毒的直徑一般為0.02-0.4um,普通細(xì)菌的直徑為0.4-1um。反滲透純水機(jī)的正常運(yùn)行取決于一定的壓力,這種壓力大于滲透膜的滲透壓力,通常為2.8千克/平方厘米。
  在水壓或水壓不穩(wěn)定的地區(qū),建議購(gòu)買帶有前置增壓泵的反滲透純水系統(tǒng)。該系統(tǒng)工作壓力達(dá)到0.3-0.6Mpa,不受自來(lái)水壓力的限制,水效率高,速度快,濃縮水少。
  反滲透有效脫鹽,一次反滲透設(shè)備出水電阻率一般為0.05-0.5M。是厘米。該純系統(tǒng)水生產(chǎn)質(zhì)量穩(wěn)定,是目前比較普通的純生產(chǎn)設(shè)備,生產(chǎn)質(zhì)量基本滿足FPC/PCB生產(chǎn)需求。
  EDI電脫鹽超純水系統(tǒng)
  連續(xù)電脫鹽(EDI、Electro deionization或CDI、Continuous Electrode Ionization)利用混合離子交換樹(shù)脂吸附在水中的陰陽(yáng)離子上,同時(shí)吸附的離子在DC電壓的作用下這個(gè)過(guò)程是離子交換樹(shù)脂在電上連續(xù)再生的,所以不需要用酸和堿再生。
  這項(xiàng)新技術(shù)取代了傳統(tǒng)的離子交換裝置,*高可達(dá)18。可以生產(chǎn)厘米的超純水。整個(gè)過(guò)程前面的部分與一般的水處理過(guò)程沒(méi)有太大區(qū)別。一般先經(jīng)過(guò)預(yù)處理,再加入藥物清除病毒,然后經(jīng)過(guò)RO反滲透系統(tǒng),使用EDI設(shè)備制作超純水。
 
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